海德漢2013年新產(chǎn)品介紹
海德漢2013年新產(chǎn)品介紹
敞開式增量直線光柵尺 LIF400
精度高和安裝簡單
應用
? 半導體后端生產(chǎn)設備
? 計量儀器
特點
? 緊湊型讀數(shù)頭和光柵尺
? PRECIMET背膠固定，安裝簡單
? 抗污染能力較強
? 限位開關(guān)和回零軌
技術(shù)參數(shù)
? 玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的
SUPRADUR相位光柵
? 信號周期 4µm
? 精度等級 ±3 µm
? 典型位置誤差
單信號周期內(nèi) ±0.04 µm
? 測量長度 至1020 mm
? 接口 1VPP或TTL
敞開式增量直線光柵尺 LIDA400
用于高速運動和大測量范圍
應用
? 半導體工業(yè)生產(chǎn)和檢測設備
? PCB電路板組裝機
? 測量機
特點
? 運動速度快
? 測量長度大
? 安裝公差大
? 限位開關(guān)
? 多種型號可供選擇
技術(shù)參數(shù)
? 鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵
? 信號周期 20µm
? 測量步距 至0.05µm
? 精度等級 至±5 µm
? 典型位置誤差
單信號周期內(nèi) ±0.2 µm
? 測量長度 至30m
? 接口 1VPP或TTL
無內(nèi)置軸承增量式角度編碼器
玻璃圓光柵碼盤/輪轂總成
應用
? 計量儀器
? 高速旋轉(zhuǎn)軸
特點
? 尺寸緊湊
? 高精度
? 信號誤差補償
技術(shù)參數(shù)
? 玻璃基體的METALLUR光柵尺
? 信號周期數(shù) 9 000/18 000
? 系統(tǒng)精度 ± 5/± 3角秒
? 直徑 外徑 71/150 mm
內(nèi)徑 25/95 mm
? 接口 1 VPP或TT
系統(tǒng)安全要求日益提高，網(wǎng)絡滲透日趨深入，因此新機器和新系統(tǒng)的要求也更加嚴格。 |
敞開式直線光柵尺 LIC4000
精度高和測量范圍大
應用
? 半導體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設備
? PCB電路板組裝機
? 測量機
? 直接驅(qū)動
特點
? 大測量范圍的位置值
? 高分辨率
? 結(jié)構(gòu)緊湊
? 安裝和診斷簡單
技術(shù)參數(shù)
? 有刻軌的METALLUR鋼帶
? 分辨率 zui小至0.001µm（1 nm）
? 精度等級 達±5 µm
? 典型位置誤差
單信號周期內(nèi)± 0.08 µm
? 測量長度 至27m
? 運動速度 至8m/s
? 接口 EnDat2.2
式模塊旋轉(zhuǎn)編碼器 ECN1123/EQN 1135
單圈/多圈版
應用
? 伺服電機反饋系統(tǒng)
? 機械手應用
? 一般自動化系統(tǒng)
特點
? 結(jié)構(gòu)緊湊
? 安裝簡單
? 功能安全
技術(shù)參數(shù)
? 單圈測量步距數(shù) 8388 608 (23 bits)
? 分辨率（EQN1135） 4096 (12 bits)
? 系統(tǒng)精度 ±60’’
? 接口 EnDat2.2
8 MHz時鐘頻率
? 安全等級 SIL2，EN 61 508
3級PL d，
EN ISO 13 849-1:2008
? 供電電壓 DC3.6至14 V
海德漢2013年新產(chǎn)品介紹
